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半導体の原料物質を蒸着なしで物性測定する技術を開発

韓国標準研、半導体OLED蒸着用素材の物性測定技術を開発


半導体や有機発光ダイオード(OLED)の原料の物質を基板に蒸着しなくても性質を知ることのできる技術が開発された。

大徳所在の韓国標準科学研究院(パク・サンヨル院長)は同研究院素材エネルギー融合測定センターのユン・ジュヨン責任研究員研究チームが半導体/OLEDの製造工程で蒸着の過程を経ず薄膜素材だけを単独で評価する物性測定技術を開発したと1月31日に発表した。

蒸着(Deposition)はさまざまな素材が気化して基板に付着するこことで機械的に作れない薄膜を形成する方法。蒸着は半導体やOLEDの製造工程などで必須の技術で、薄膜により製品に伝導性、発光性などの特性を与えることができる。

蒸着で最も重要な条件は真空状態の維持。薄膜の素材として使われる有機物質は真空の環境でのみ蒸着が可能で空気中に露出すると分解されて爆発の可能性もある。こうした理由でこれまでは素材を基板にかぶせたのち特性を検査する方法が取られた。真空の環境を維持しつつ気化前に固体や液体素材の物理的特性を扱う技術がほとんどなかったため。

研究チームの開発した半導体/OLED蒸着用素材物性測定技術を利用すれば面倒な蒸着の過程なしで真空で素材の特性だけを単独で評価できる。研究チームは真空高温の環境で長期間有機物質を測定できる独自のシステムを開発した。また物質が内部のパイプに付着して測定を妨害するデガッシング(degassing)の問題を解決することで蒸着前に検査する方法を提示した。

今回開発された物性測定技術を利用すれば真空の環境で素材となる物質の蒸気圧、状態変化地点、熱化学的安定性、蒸気組成比などの物性を正確に測定できる。素材となる物質を評価するために必要だった蒸着を経ずに素材だけを単独で測定できるようになった。

研究に当たったユン・ジュヨン責任研究員は「測定技術は製品の信頼性および生産性を大幅に向上させ現在輸入依存度の高い半導体およびOLED薄膜用素材の国産化に寄与するだろう」と話している。

韓国標準科学研究院は2017年12月に半導体装置部品メーカーマイステク社と本技術の装置製造技術に関して技術移転契約を締結した。





[2018-02-09]

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