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韓国標準研、大型ガラス基板の厚さと屈折率を同時に測定できるセンサーを開発

不良ガラスの発見が可能...民間企業に技術移転し商用化


韓国標準科学研究院(パク・サンヨル院長)は同研究院光学標準センターのチン・ジョンハン責任研究員研究チームが強い振動のある環境でもリアルタイムで大型ガラス基板の厚さと屈折率を測定できるセンサーを開発し、商用化したと7月3日に発表した。

韓国標準研は昨年この技術を光計測専門企業NOVITEC社(イ・ジュニョン代表)に移転した。NOVITEC社はこれをもとに商用化製品を開発し、グローバルガラスメーカーと供給契約を締結した。

超大型テレビの製造が可能になり消費者の大型画面に対するニーズが高まったことでLCD(液晶表示装置)の核心部品であるガラス基板の市場が拡大している。数メートルの大きさのガラス基板を不良なく維持するためには必ず全ての面積が均一な厚さで生産する必要がある。

だが一般的に振動が発生する工程でガラス基板に屈曲がないかを完璧に検査することはこれまで不可能だった。既存のセンサーではひどく揺れているガラス基板の厚さを安定的に連続測定できなかった。

研究チームは光干渉計を用いて大型ガラス基板の厚さをリアルタイムで測定するセンサーを開発した。このセンサーは世界最高の振動不感(vibration insensitive)性能をもち、振動の強い悪条件の中でも正確に厚さを測定できる。

この技術のもう一つの特徴は屈折率測定。光は材質によって伝わる速度が異なるためこれまでは別途の過程を通じてガラス基板の屈折率を把握したのち厚さの測定が可能だった。今回開発された技術はセンサー一つで屈折率も知ることが可能なので事前に屈折率を測定する面倒な作業は不要。

研究に当ったチン・ジョンハン責任研究員は「数多くのIoT基盤の先端製品に使用されるガラス基板生産工程に利用できる最適の測定技術。既存の外国製センサーでは対応が不可能な厚さと屈折率の同時測定を実現した」と話している。

NOVITEC社のイ・ジュニョン代表は「韓国標準研の技術をもとに優れた製品を開発し、グローバル企業に供給することになった。海外市場にも進出してガラス基板だけでなく太陽光パネル、シリコンウエハーなどの分野へ市場を拡大してゆきたい」と述べた。






[2018-07-05]

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